周郁:探索创新与颠覆性的纳米压印技术,彻底解决光刻瓶颈问题!

2024-11-07 热点资讯 关注公众号
周郁:探索创新与颠覆性的纳米压印技术,彻底解决光刻瓶颈问题!
20世纪90年代中期,纳米压印技术推动了整个纳米制造领域的革命性转变,拥有高分辨率、高密度等优势,并被广泛应用到LED、AR/VR、光学器件、生物医学检测等领域。近期,佳能推出的纳米压印半导体制造设备FPA-1200NZ2C开启了半导体集成电路制造商业化进程的新篇章,有望实现更精细的图形化制造,对当前由ASML主导的EUV光刻技术市场构成挑战。多项存储制造商也在探索其应用前景。
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