康宁新里程碑!EXTREME ULE玻璃发布:可支持高NA EUV光刻技术 康宁打破光刻技术瓶颈,INTREME ULE玻璃诞生:支持超高能紫外光线刻蚀 极简美学与强大功能完美结合的EXTREME ULE玻璃,即将引领未来光学制造 超越现实——康宁推出全新极简设计的EXTREME ULE玻璃,极有可能成为下一代光刻材料 康宁EXTREME ULE玻璃,凭借极高能量等级的高NA EUV光刻能力,将成为下一代光刻材料的革命性突破

2024-10-04 热点资讯 关注公众号
康宁新里程碑!EXTREME ULE玻璃发布:可支持高NA EUV光刻技术

康宁打破光刻技术瓶颈,INTREME ULE玻璃诞生:支持超高能紫外光线刻蚀

极简美学与强大功能完美结合的EXTREME ULE玻璃,即将引领未来光学制造

超越现实——康宁推出全新极简设计的EXTREME ULE玻璃,极有可能成为下一代光刻材料

康宁EXTREME ULE玻璃,凭借极高能量等级的高NA EUV光刻能力,将成为下一代光刻材料的革命性突破
康宁推出新的超低膨胀(ule)材料EXTREME ULE玻璃,可减轻芯片制造商使用高速纳米加工技术(如High NA EUV)的负担。这个独特的玻璃材料具有极低的热膨胀性,能有效降低光掩模波纹,从而提高高端薄膜和光刻胶的应用能力。此新材料有助于实现更高功率的 EUV 制造和更大的产量,并且有望对康宁的可持续发展做出贡献。

随着半导体制造的发展,为了降低成本并提高生产效率,高速纳米加工技术(如High NA EUV)被广泛应用在制程中。然而,由于高频率和高强度的照射会导致芯片表面出现复杂的波纹,影响到硅片的封装效果。因此,开发出能够有效降低这种问题的新型材料就显得尤为重要。
近期,美国康宁公司推出了全新的超低膨胀(ule)材料EXTREME ULE玻璃。这种特殊材料的特性使其成为解决这一问题的有效工具。
ultra-ELT玻璃是一种在所有种类的固态中都表现出高弹性的复合材料,特别适合应用于高速纳米加工中。它能在承受大压力和高温的同时,保持良好的形状和强度,可以有效减少封装过程中的能量损失和应力积累,从而提高封装质量。
此外,ultra-ELT玻璃还具有极低的热膨胀性。在相同的温度下,ultra-ELT玻璃的体积会减小,这不仅可以防止因为高温导致的结构破坏,还可以有效地减小封装后的重量,进一步提高了封装效率。
据估计,ultra-ELT玻璃对于高级薄膜和光刻胶等应用的提高将超过20%。这意味着,利用这种材料,制程厂商不仅能够在较低的成本下实现更高的生产效率,而且还能享受到更高的产品质量。
此外,ultra-ELT玻璃还具有潜在的环境友好性。由于其优异的耐高温性和耐低温性,它可以在恶劣环境下使用,大大降低了电子产品的使用寿命,有助于实现绿色制造。
总的来说,康宁推出的全新超低膨胀(ule)材料EXTREME ULE玻璃将有助于实现更高功率的 EUV 制造和更大的产量,并且有望对康宁的可持续发展做出贡献。这种特殊的玻璃材料具有重要的应用前景,值得我们持续关注和研究。

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