引言：
半导体产业中，国产化攻坚任务艰巨，尤其在种类繁多的半导体设备领域。本文以芯片量检测设备为切入点，深入剖析国产化进程中的问题。芯片量检测设备可细分为检测与量测两个关键环节，对保障芯片良率起着至关重要的作用，然而在全球市场中，这一领域近乎被国外头部公司垄断，如美国KLA公司占据约50%市场份额，而国内的国产化率仅3%。
供应卡脖子现象严峻：在中国芯片制造产业扩产及工艺升级的过程中，量检测设备的供应面临严重挑战。一方面，我国芯片产线所需设备大部分是即将停产或已停产的型号，导致扩产和工艺升级时面临设备短缺风险。以KLA为例，其客户主要集中在先进制程产线，对于成熟制程产线的支持有限。
国产化难题深究：
国产化进程缓慢且国产化率低的主要原因在于技术难度大以及产线试错成本高。量检测设备属于精密高端设备，需要在纳米级别实现测量和检测功能，涉及传输单元、光路处理单元、信号单元等多个系统模块的技术突破，同时，由于芯片制造过程中需保证极高的良品率，未经验证的新设备一旦投入使用，可能带来严重的生产风险。
破局之道：修复+自研并举
面对以上困境，我们提出双管齐下的解决方案。首先，通过第三方专业机构进行设备修复，满足芯片产线对成熟制程设备的现实需求，有效利用国外先进制程产线淘汰下来的退役设备资源。其次，鼓励自主研发核心组件，形成修复设备与自研设备协同发展的产业链条，从底层核心技术入手，逐步减少对外部零部件和技术服务的依赖，确保国产化路径健康可持续。
结语：
目前市场上已有企业如卓海科技，在资本的大力支持下，致力于提供芯片量检测领域的设备、零部件及技术服务的有效供给，并积极探索国产化道路，其客户涵盖了华虹半导体、士兰微、华润上华等国内主流芯片产线。因此，重视核心组件的研发与修复设备的应用相结合，既能解决当下设备短缺问题，又能稳健推动国产化进程，为中国半导体产业发展注入强劲动力。
